品牌简介

KLA-Tencor公司为世界著名的专业美资半导体（芯片）设备供货商，公司总部在美国硅谷，拥有 6000 多名员工，自1976年成立以来不断致力于产品研究与发展，为全世界客户提供更完善更人性化服务，并协助半导体（芯片）厂商创造高品质、高效率的产质，目前分公司遍布美洲、欧洲、亚洲等国家。KLA-Tencor 始终致力于帮助其全球客户降低运营成本并增加收益，并已经成为其坚定不移的长期合作伙伴。

主要产品

光学表面分析仪
已图案晶圆几何形状测量系统
光罩图案位置测量系统
先进数据分析系统
系列宽波等离子图案晶圆缺陷检测系统
激光扫描图案晶圆缺陷检测系统
无图案晶圆缺陷
光罩检测系统
系统

型号示例

CS20光学表面分析仪
WaferSight PWG 已图案晶圆几何形状测量系统
LMS IPRO6 光罩图案位置测量系统
K-T Analyzer 9.0 先进数据分析系统
2920 系列宽波等离子图案晶圆缺陷检测系统
Puma 9850 激光扫描图案晶圆缺陷检测系统
Surfscan SP5 无图案晶圆缺陷
Teron  SL650 光罩检测系统
处理450mm硅片的Surfscan SP3系统

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